200mm大管径高温高真空管式炉特点

00mm 大管径高温高真空管式炉是一种以 Φ200mm 炉管为核心、适配高温与高真空工况的卧式 / 立式加热设备，常用于金属退火回火、半导体材料处理、陶瓷烧结等场景，兼具大装载量与气氛 / 真空可控优势。以下从核心参数、结构选型、关键配置、应用与维护要点展开说明。

一、核心技术参数（主流配置参考）

参数类别典型数值备注

炉管规格内径 Φ200mm，长度 1000-1200mm外径约 220-230mm，壁厚 10-15mm

温度1200℃（石英管）、1400℃（刚玉管）、1600℃（SiC / 石墨管）高真空下温度需降额 100-200℃

极限真空度机械泵 + 分子泵组可达 5×10??~7×10??Pa基础配置机械泵约 5×10??Pa

温控精度±1℃多段程序控温，支持 50 段升温 - 保温 - 降温曲线

加热区 / 恒温区加热区 400-600mm，恒温区 200-300mm恒温区温度均匀性≤±1.5℃

升温速率≤10℃/min（高温段），≤20℃/min（低温段）避免炉管热冲击变形

功率6-15kW380V 工业电源，双层风冷降温

二、炉管与核心部件选型

炉管材质（适配不同工况）

石英管：≤1000℃（长期≤900℃），透光性好，适合中低温真空退火，不耐强碱。

刚玉管（Al?O?≥99%）：≤1400℃，机械强度高，耐酸碱，适配高温真空热处理。

碳化硅（SiC）管：≤1600℃，导热好、抗热震，适合超高温真空烧结。

石墨管：真空 / 惰性气氛下≤2000℃，导热优，但需严格隔绝氧气。

密封与真空系统

密封法兰：304/316 不锈钢双层密封，配氟橡胶 / 金属垫片，确保高真空密封性。

真空机组：机械泵（前级）+ 分子泵（高真空），搭配真空计与泄漏检测仪，保障真空稳定性。

气氛适配：可通入 N?、Ar、H?等，配高精度流量计与尾气处理装置。

加热与保温

加热元件：1200℃用钼电阻丝，1400℃用硅碳棒，1600℃用硅钼棒。

保温层：高纯氧化铝纤维 + 涂层，双层风冷炉壳，表面温度≤50℃。